臺式掃描電鏡是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)。sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

臺式掃描電鏡是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。sem掃描電鏡可以直接觀察觀察納米材料，進(jìn)行材料斷口的分析，直接觀察原始表面等。

sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。試樣制備簡單，目前的sem掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析（即SEM－EDS），因此它是當(dāng)今十分重要的科學(xué)研究儀器之一。

所謂納米材料，是指材料的顆粒或微晶尺寸在0.1－100nm范圍內(nèi)，在保持表面清潔的條件下，通過壓制形成的固體材料納米材料具有許多不同于晶態(tài)和非晶態(tài)的物理和化學(xué)性質(zhì)納米材料具有廣闊的發(fā)展前景，將成為未來材料研究的sem掃描電鏡的一個重要特點(diǎn)是分辨率高現(xiàn)在它被廣泛用于觀察納米材料。

臺式掃描電鏡可以直接觀察直徑為100毫米、高度為50毫米或更大尺寸的樣品，不受樣品形狀的限制，也可以觀察到粗糙的表面，避免了樣品制備的麻煩并能真實(shí)觀察樣品本身不同物質(zhì)成分的對比度（背反射電子圖像）。