在之前的文章中我們都已經(jīng)詳細(xì)介紹過臺式掃描電鏡了。這期我們講用sem臺式掃描電鏡觀察磁性材料制樣方法，一般都需要先退磁，再做分析，其主要原因如下：

①一般臺式掃描電鏡的透鏡和掃描線圈都是通過有序地調(diào)控其流經(jīng)線圈的電流產(chǎn)生磁場而進(jìn)行工作的，若樣品本身帶有磁性，會對電子光學(xué)系統(tǒng)的工作造成干擾。若樣品磁性強(qiáng)，圖像會模糊，襯度和分辨力都會變得很差，消像散器也起不了作用，則像散無法消除。

②磁性樣品會使電子圖像產(chǎn)生變形、扭曲，而且還會影響放大倍率和微觀測量的精度，但對某些鐵氧體材料還是可以直接放進(jìn)樣品倉中做分析，樣品先要粘牢、緊固，確保可靠：其次工作距離要>10mm、能>15mm，用低加速電壓、小束流，因?yàn)殍F氧體的導(dǎo)電性較差。

③在樣品臺上個別粘貼不牢靠的磁性粉末顆粒，易被吸附到物鏡下級靴孔隙或者電子光學(xué)通路中，這些敏感部位一旦被污染，電子光學(xué)的性能立即遭受破壞，只能拆卸清理和清洗。這種清理維護(hù)相對一般的清洗鏡筒要麻煩得多，因這種有磁性的小顆粒很難被發(fā)現(xiàn)和清除。若確實(shí)要做這種樣品的分析，建議先考慮退磁，然后可考慮燒成陶瓷塊并經(jīng)清洗后再做分析，否則會給臺式掃描鏡簡帶來災(zāi)難性的后果。

④磁性材料也會影響EDS和WDS的分析，當(dāng)對某個點(diǎn)進(jìn)行分析時，容易造成打偏、打歪等難定位的現(xiàn)象，也會造成參數(shù)的識別錯誤，從而使定量分析誤差明顯加大。有些sem臺式掃描電鏡廠家的資料介紹，其物鏡是無漏磁的物鏡級靴，可用于磁性樣品的觀察和EBSD分析。如有的采用半內(nèi)透鏡的設(shè)計，漏磁比較小，但要用于分析磁性樣品也要非常小心謹(jǐn)慎。