現(xiàn)如今，大量的科學(xué)研究和高質(zhì)量的工業(yè)分析都離不開精密儀器和設(shè)備，精密儀器被稱為是“科學(xué)研究的先行官、工業(yè)生產(chǎn)的倍增器”。

但越精密的儀器對(duì)場(chǎng)地環(huán)境的要求越嚴(yán)格，儀器在不符合要求的場(chǎng)地下運(yùn)行導(dǎo)致無(wú)法獲得有用的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)甚至出現(xiàn)運(yùn)行異常，這已經(jīng)不是新鮮事了。精密儀器在合格的場(chǎng)地環(huán)境下運(yùn)行才能真正體現(xiàn)其價(jià)值，為科研工作提供助力。

掃描電子顯微鏡是很重要的微觀觀測(cè)工具，分辨率可達(dá)零點(diǎn)幾個(gè)納米，是非常精密的科學(xué)儀器設(shè)備，應(yīng)用十分廣泛。而掃描電子顯微鏡對(duì)于場(chǎng)地環(huán)境的要求主要是在震動(dòng)、磁場(chǎng)和噪音等方面，這些指標(biāo)在設(shè)備安裝前，都需要由廠家的工程師攜帶專業(yè)的場(chǎng)地量測(cè)工具前往客戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行測(cè)量，判斷場(chǎng)地是否合格并給出測(cè)量報(bào)告。如果不合格，則要更換場(chǎng)地或是對(duì)場(chǎng)地進(jìn)行整改。

下面我們就把場(chǎng)地環(huán)境之震動(dòng)和磁干擾對(duì)掃描電鏡產(chǎn)生影響一一進(jìn)行詳細(xì)說明，希望能夠幫助大家更好地理解并有效防范。

①震動(dòng)的影響

對(duì)于掃描電鏡來說，外界震動(dòng)會(huì)造成在電子束下落過程中，樣品相對(duì)電子束發(fā)生位移，從而使得電子束轟擊位置出現(xiàn)錯(cuò)位，掃描電鏡圖像上會(huì)出現(xiàn)鋸齒或抖動(dòng)。由于掃描電子顯微鏡觀測(cè)倍率高，微小的震動(dòng)也會(huì)影響使用。

因此，掃描電鏡都內(nèi)置了減振裝置，使得鏡筒、樣品室不與地面硬性相連。根據(jù)減振方式的不同，減振裝置可以分為被動(dòng)式減振和主動(dòng)式減振兩種。主動(dòng)式減振對(duì)于常見的低頻震動(dòng)減除效果優(yōu)于被動(dòng)式減振，所以高質(zhì)量的掃描電子顯微鏡一般會(huì)配置主動(dòng)減振。

如果外界震動(dòng)過強(qiáng)，即使配置了減振裝置，也無(wú)法完全消除環(huán)境震動(dòng)對(duì)于掃描電鏡的影響。因此，在通常情況下，需要盡量符合以下條件以保證振動(dòng)環(huán)境滿足安裝要求：

1. 實(shí)驗(yàn)室設(shè)在沒有地下室或地下車庫(kù)的一樓；

2. 場(chǎng)地不靠近車流頻繁的馬路；

3. 附近沒有安裝類似拉伸試驗(yàn)機(jī)等設(shè)備。

②磁干擾的影響

磁干擾是指由電場(chǎng)、磁場(chǎng)及射頻等產(chǎn)生的輻射信號(hào)源，對(duì)儀器設(shè)備尤其是精度較高的儀器設(shè)備而言，會(huì)產(chǎn)生不利影響。

磁場(chǎng)產(chǎn)生的原因很多，手機(jī)的基站、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)布線不合理的電線、不合適的照明燈、附近其它的大型設(shè)備，甚至運(yùn)行中的電梯都會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)干擾，而這些都是我們要盡力避免的。

如果掃描電子顯微鏡安裝在有強(qiáng)雜散磁場(chǎng)的環(huán)境中，電子束將被該磁場(chǎng)強(qiáng)制抖動(dòng)，引起成像時(shí)異常的放大、收縮、扭曲、飄移或針狀噪聲。

因此，在掃描電鏡設(shè)計(jì)中，為避免電源的干擾，捕捉圖像的掃描模式與電源頻率同步，盡可能減小了同步磁場(chǎng)產(chǎn)生的干擾。當(dāng)有與電源頻率同步的雜散磁場(chǎng)（交流磁場(chǎng)）超標(biāo)時(shí)，引起的干擾通常表現(xiàn)為圖像的扭曲、膨脹或者收縮。

當(dāng)有與電源頻率不同步的雜散磁場(chǎng)（例如直流磁場(chǎng)）存在時(shí)，引起的干擾通常表現(xiàn)為圖像的漂移或?yàn)獒槧钤肼暋?/span>